Hvitlysinterferometri (WLI)
Vår hvitlysinterferometer gir presise målinger av overflatetopografi med nøyaktighet på nanometerskala. Den er ideell for karakterisering av ruhet, trinnhøyder, helninger og andre kritiske overflateegenskaper. Vi bruker en Veeco Wyko NT9800.
Kontaktperson
Hva er WLI?
WLI er basert på et lysmikroskop og bruker interferens mellom et prøvesignal og et referansesignal for å måle høyde med 10 nm nøyaktighet over flere millimeter. Denne kontaktløse teknikken sikrer pålitelige målinger uten å skade prøven.
Muligheter:
- Kontaktløs topografikartlegging: Høydemåling i hvert punkt for analyse av ruhet og trinnhøyder.
- Høy nøyaktighet: Vertikal oppløsning ned til 10 nm over store områder.
- Svært flate overflater: Vertikal oppløsning < 1 nm i monokromatisk modus.
- Ikke-destruktiv måling: Ingen vakuum kreves, bevarer prøvens integritet.
- Stor prøvekapasitet: Håndterer prøver med ulike former og størrelser.
Bruksområder:
- Karakterisering av overflateruhet for metaller, polymerer og kompositter
- Måling av trinnhøyde og lagtykkelse i mikroelektronikk
- Kvalitetskontroll av belegg og tynne filmer
- Forskning på funksjonelle overflater for energi- og optiske komponenter
