Til hovedinnhold

Metal films for MEMS pressure sensors: comparison of Al, Ti, Al-Ti alloy and Al/Ti film stacks

Metal films for MEMS pressure sensors: comparison of Al, Ti, Al-Ti alloy and Al/Ti film stacks

Kategori
Konferansebidrag og faglig presentasjon
Oppdragsgiver
  • Norges forskningsråd / 247781
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • Universitetet i Oslo
Presentert på
7th Electronics System-Integration Technology Conference
Sted
Dresden
Dato
17.09.2018 - 20.09.2018
Arrangør
IEEE Electronic Packaging Society
År
2018
Eksterne ressurser