Metal films for MEMS pressure sensors: comparison of Al, Ti, Al-Ti alloy and Al/Ti film stacks
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 247781
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Elizaveta Vereshchagina
- Erik Poppe
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Markus Wöhrmann
- Sigurd Moe
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- Universitetet i Oslo
- Ukjent
Presentert på
7th Electronics System-Integration Technology Conference
Sted
Dresden
Dato
18.09.2018 - 21.09.2018
Arrangør
IEEE Electronic Packaging Society