Bond strength of conductive Si-Si bonded seals
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Lars Geir Whist Tvedt
- Sigurd Moe
- Erik Poppe
- Dag Thorstein Wang
- Stein Are Gjelstad
- Christopher Mørk
- Kristin Imenes
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Sørøst-Norge
År
2014Forlag
EDA Publishing Association
Bok
Symposium on Design, test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 1-4 April, 2014
ISBN
9782355000287
Side(r)
312 - 317