Anodic bonding of glass to aluminum
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Erik Poppe
- Sigurd Moe
- Preben Storås
- Maaike Margrete Visser Taklo
- Dag Thorstein Wang
- Henrik Jakobsen
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- Universitetet i Sørøst-Norge
År
2006Publisert i
Microsystem Technologies : Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems
ISSN
0946-7076
Forlag
Springer
Årgang
12
Side(r)
441 - 450