Plastic Deformation of Thin Si Membranes in Si-Si Direct Bonding
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Erik Poppe
- Geir Uri Jensen
- Sigurd Moe
- Dag Thorstein Wang
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
PRiME 2016
Sted
Honolulu, Hawaii
Dato
02.10.2016 - 07.10.2016
Arrangør
Electrochemical Society