Til hovedinnhold

Bond strength of conductive Si-Si bonded seals

Bond strength of conductive Si-Si bonded seals

Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Oppdragsgiver
  • Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Universitetet i Sørøst-Norge
År
Forlag
EDA Publishing Association
Bok
Symposium on Design, test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 1-4 April, 2014
ISBN
9782355000287
Side(r)
312 - 317