Til hovedinnhold

Conductive hydrophilic and hydrophobic high-temperature silicon direct wafer bonding

Conductive hydrophilic and hydrophobic high-temperature silicon direct wafer bonding

Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
  • Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Universitetet i Sørøst-Norge
Presentert på
WaferBond'13
Sted
Stockholm
Dato
05.12.2013 - 06.12.2013
Arrangør
Roy Knechtel, Frank Niklaus
År