Low-temperature plasma activated bonding for a variable optical attenuator

Forfatter(e)

• Kari Schjølberg-Henriksen
• Sigurd Moe
• Maaike Margrete Visser Taklo
• P Storas
• Jon Herman Ulvensøen

Institusjon(er)

• SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
• Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
• Ukjent

Hefte nr.

1

DOI