Passivation of silicon wafer patterned by aluminium for micromachining
Kategori
Poster
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Xuyuan Chen
- Ani Duan
- Erik Poppe
Institusjon(er)
- Universitetet i Sørøst-Norge
- SINTEF Digital
Presentert på
Optical MEMS & Nanophotonics : International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
Sted
Taiwan
Dato
11.08.2007 - 16.08.2007