Til hovedinnhold

Passivation of silicon wafer patterned by aluminium for micromachining

Passivation of silicon wafer patterned by aluminium for micromachining

Kategori
Poster
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • Universitetet i Sørøst-Norge
  • SINTEF Digital
Presentert på
Optical MEMS & Nanophotonics : International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
Sted
Taiwan
Dato
11.08.2007 - 16.08.2007
År