Resist evaluation for fabrication of diffractive optical elements (DOEs) with sub-micron resolution in a MEMS production line
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Aina Kristin Herbjørnrød
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Hallvard Angelskår
- Matthieu Jean P Lacolle
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Oslo
År
2009Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)
ISSN
0960-1317
Forlag
IOP Publishing
Årgang
19
Hefte nr.
12