Til hovedinnhold

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
  • Shimul Chandra Saha
  • Geir uri Jensen
  • Trond Sæther
  • Håkon Sagberg
  • Erik Poppe
Institusjon(er)
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF AS
  • Ukjent
Presentert på
33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007),
Dato
15.09.2007
År