Til hovedinnhold
Norsk English

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Kategori

Vitenskapelig foredrag

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Institusjon(er)

  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF AS
  • Ukjent

Presentert på

33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007),

Dato

15.09.2007

År

2007

Vis denne publikasjonen hos Cristin