Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Kategori

Vitenskapelig foredrag

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Shimul Chandra Saha
Geir uri Jensen
Trond Sæther
Håkon Sagberg
Erik Poppe

Institusjon(er)

Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
SINTEF AS
Ukjent

Presentert på

33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007),

Dato

15.09.2007

År

2007