Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches
Kategori
Konferanseforedrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Shimul Chandra Saha
- Geir uri Jensen
- Trond Sæther
- Håkon Sagberg
- Erik Poppe
Institusjon(er)
- SINTEF AS
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Presentert på
33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007),
Dato
15.09.2007