Development of a high throughput metalens fabrication process relying on Bosch Deep Reac- tive Ion Etching and UV Nano Imprint Lithorgraphy
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Presentert på
META2021
Sted
On-Line
Dato
20.07.2021 - 23.07.2021
Arrangør
Metaconferences.org