On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

Forfatter(e)

• Runar Dahl-Hansen
• Frode Tyholdt
• Jo Gjessing
• Andreas Vogl
• Paul Wittendorp
• Jon Vedum
• Per Thomas Martin Tybell

Institusjon(er)

• Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
• SINTEF Industri / Bærekraftig energiteknologi
• SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems

Hefte nr.

1

DOI

Les fulltekst