Til hovedinnhold

On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Institusjon(er)
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • SINTEF Digital / Smart Sensor Systems
År
Publisert i
Journal of microelectromechanical systems
ISSN
1057-7157
Årgang
30
Hefte nr.
1
Side(r)
105 - 115