Til hovedinnhold
Norsk English

On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

Kategori

Vitenskapelig artikkel

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Institusjon(er)

  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF Industri / Bærekraftig energiteknologi
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology

År

2021

Publisert i

Journal of microelectromechanical systems

ISSN

1057-7157

Årgang

30

Hefte nr.

1

Side(r)

105 - 115

Vis denne publikasjonen hos Cristin