Til hovedinnhold

Karl Henrik Haugholt

Seniorforsker

Karl Henrik Haugholt

Seniorforsker

Karl Henrik Haugholt
Telefon: +47 930 03 539
Avdeling: Smart Sensor Systems
Kontorsted: Oslo

Publikasjoner og ansvarsområder

Publikasjon
https://www.sintef.no/publikasjoner/publikasjon/?pubid=CRIStin+1002744

A low-cost Fourier transform infrared (FTIR) instrument was developed where the traditional He–Ne reference laser was replaced by a low-cost linear encoder. An RMS sampling error of less than 20 nm was achieved by oversampling both the interferogram and the encoder signal and then resampling the int...

År 2013
Type Tidsskriftspublikasjon
Publikasjon
https://www.sintef.no/publikasjoner/publikasjon/?pubid=CRIStin+1273092

Abstract: We have designed a FTIR instrument where the traditional He-Ne reference laser is replaced by a low-cost linear encoder. We achieve an RMS sampling error of less than 50nm by oversampling both the interferogram and the encoder signal and then resampling the interferogram using a correction...

År 2011
Type Konferansebidrag og faglig presentasjon
Publikasjon
https://www.sintef.no/publikasjoner/publikasjon/?pubid=CRIStin+1271794

The paper presents the optical, mechanical, and electro-optical design of an interferometric inspection system for massive parallel inspection of Micro(Opto)ElectroMechanicalSystems (M(O)EMS). The basic idea is to adapt a micro-optical probing wafer to the M(O)EMS wafer under test. The probing wafer...

År 2009
Type Tidsskriftspublikasjon
Publikasjon
https://www.sintef.no/publikasjoner/publikasjon/?pubid=CRIStin+1271787

The paper presents the optical, mechanical, and electro-optical design of an interferometric inspection system for massive parallel inspection of MicroElectroMechanicalSystems (MEMS) and MicroOptoElectroMechanicalSystems (MOEMS). The basic idea is to adapt a micro-optical probing wafer to the M(O)EM...

År 2009
Type Del av bok/rapport