Til hovedinnhold

High-frequency 2D PZT based micromirrors

High-frequency 2D PZT based micromirrors

Kategori
Konferansebidrag og faglig presentasjon
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Presentert på
PiezoMEMS
Sted
Orlando
Dato
15.01.2018 - 17.01.2018
År
2018