High-frequency 2D PZT based micromirrors
Kategori
Konferanseposter
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Jo Gjessing
- Thor Bakke
- Zeljko Skokic
- Paul Wittendorp
- Aina Suphellen
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
PiezoMEMS
Sted
Orlando
Dato
16.01.2018 - 18.01.2018