Reactivity of HCl at the Si(100)-c(4x2) reconstructed surface: a DFT study
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Sigma2 / NN9462K
- Sigma2 / NN9264K
Språk
Engelsk
Institusjon(er)
- SINTEF Industri / Prosessteknologi
- SINTEF Industri / Materialer og nanoteknologi
- SINTEF Industri / Metallproduksjon og prosessering
Presentert på
Silicon for the Chemical and Solar Industry XVI
Sted
Trondheim
Dato
14.06.2020 - 16.06.2020
Arrangør
NTNU