Technologies enabling 3D stacking of MEMS
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Maaike Margrete Visser Taklo
- Michal Marek Mielnik
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Preben Storås
- Hannah Rosquist Tofteberg
- Nicolas Lietaer
- Rolf Johannessen
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2010Forlag
Goldenbogen Verlag
Bok
Smart Systems Integration and ReliabilityHonory volume on occasion ofHerbert Reichl's 65th birthday
ISBN
978-3-932434-77-8
Side(r)
136 - 145