Til hovedinnhold
Norsk English

Technologies enabling 3D stacking of MEMS

Kategori

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Institusjon(er)

  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • SINTEF Digital / Smart Sensor Systems

År

2010

Forlag

Goldenbogen Verlag

Bok

Smart Systems Integration and ReliabilityHonory volume on occasion ofHerbert Reichl's 65th birthday

ISBN

978-3-932434-77-8

Side(r)

136 - 145

Vis denne publikasjonen hos Cristin