Til hovedinnhold
Norsk English

3D Integration of MEMS and IC: Design, Technology and Simulations

Kategori

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

  • Maaike Margrete Visser Taklo
  • Kari Schjølberg-Henriksen
  • Nicolas Lietaer
  • Josef Prainsack
  • Anders Elfving
  • Josef Weber
  • Matthias Klein
  • Peter Schneider
  • Sven Reitz

Institusjon(er)

  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Tyskland
  • SensoNor ASA

År

2010

Forlag

Springer

Bok

Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators (NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics)

ISBN

904813806X

Side(r)

191 - 203

Vis denne publikasjonen hos Cristin