Til hovedinnhold
Norsk English

A novel ultra-planar, long-stroke and low-voltage piezoelectric micromirror

Kategori

Vitenskapelig artikkel

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Institusjon(er)

  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

År

2010

Publisert i

Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)

ISSN

0960-1317

Forlag

IOP Publishing

Årgang

20

Hefte nr.

6

Vis denne publikasjonen hos Cristin