A novel ultra-planar, long-stroke and low-voltage piezoelectric micromirror
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Thor Bakke
- Andreas Vogl
- Oleg Zero
- Frode Tyholdt
- Ib-Rune Johansen
- Dag Thorstein Wang
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
År
2010Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)
ISSN
0960-1317
Forlag
IOP Publishing
Årgang
20
Hefte nr.
6