Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parameters
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Shimul Chandra Saha
- Håkon Sagberg
- Geir uri Jensen
- Trond Sæther
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- Ukjent
- SINTEF AS
År
2006Forlag
International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC)
Bok
Proceedings of the 19th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2006
ISBN
4-9902472-3-X