Til hovedinnhold

The temperature evolution of the hydrogen plasma induced structural defects in crystalline silicon

The temperature evolution of the hydrogen plasma induced structural defects in crystalline silicon

Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
  • Heidi Nordmark
  • Alexander Ulyashin
  • John C Walmsley
  • Arve Holt
  • Randi Holmestad
Institusjon(er)
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • Ukjent
  • SINTEF AS
  • Institutt for energiteknikk
År
Publisert i
Solid State Phenomena
ISSN
1012-0394
Årgang
131-133
Side(r)
315 - 320