A comparative analysis of structural defect formation in Si+ implanted and then plasma hydrogenated and in H+ implanted crystalline silicon
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Heidi Nordmark
- Alexander Ulyashin
- John C Walmsley
- Randi Holmestad
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- Ukjent
- SINTEF AS
År
2008Publisert i
Solid State Phenomena
ISSN
1012-0394
Årgang
131-133
Side(r)
309 - 315