Til hovedinnhold

Statistical analysis of structure loss in Czochralski silicon growth

Statistical analysis of structure loss in Czochralski silicon growth

Kategori
Vitenskapelig artikkel
Oppdragsgiver
  • Research Council of Norway (RCN) / 257639
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • SINTEF Industri / Metallproduksjon og prosessering
År
Publisert i
AIP Conference Proceedings
ISSN
0094-243X
Forlag
American Institute of Physics (AIP)
Årgang
2147
Hefte nr.
1