Fabrication of active-edge detectors without support wafer using a unique "perforated edge" approach
Kategori
Faglig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
14th Trento Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors
Dato
25.02.2019 - 27.02.2019