2D PZT based micromirrors with high resonance frequency or high angular deflection
Kategori
Poster
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 282086
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Jo Gjessing
- Thor Bakke
- Skokic Zeljko
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Ukjent
Presentert på
Norsk Elektrooptikkonferanse
Sted
Henningsvær
Dato
02.05.2018 - 04.05.2018