FP7 piezoVolume - High Volume Piezoelectric Thin Film Production Process For Microsystems
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Frode Tyholdt
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
piezoMEMS 2010
Sted
Aachen
Dato
18.05.2010 - 19.05.2010
Arrangør
aixACCT og EPFL