3D MEMS and IC Integration
3D MEMS and IC Integration
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Presentert på
MRS fall meeting (Symposium E: Materials and Technologies for 3-D Integration)
Sted
Boston-MA
Dato
01.12.2008 - 05.12.2008
Arrangør
MRS
År