Til hovedinnhold

3D MEMS and IC Integration

3D MEMS and IC Integration

Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Presentert på
MRS fall meeting (Symposium E: Materials and Technologies for 3-D Integration)
Sted
Boston-MA
Dato
01.12.2008 - 05.12.2008
Arrangør
MRS
År