Plasma Etching, Part 2

Plasma Etching, Part 2

Kategori

Vitenskapelig foredrag

Sammendrag

Lecture at Vestfold University College

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Preben Storås

Institusjon(er)

SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology

Presentert på

Vestfold University College

Sted

Horten

Dato

21.03.2007

År

2007