Til hovedinnhold
Norsk English

Dry-film resist technology for versatile TSV fabrication for MEMS, tested on blind dummy TSVs

Kategori

Vitenskapelig foredrag

Oppdragsgiver

  • Research Council of Norway (RCN) / 210601

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Institusjon(er)

  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology

Presentert på

DTIP

Sted

Cannes

Dato

01.04.2014 - 04.04.2014

Arrangør

CMP

År

2014

Vis denne publikasjonen hos Cristin