Wafer level vacuum encapsulation for uncooled microbolometers
Kategori
Konferanseposter
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Adriana Lapadatu
- Stian Martinsen
- Gjermund Kittilsland
- Astrid-Sofie Vardøy
- Thi Thuy Luu
- Nils Høivik
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Oslo
- Universitetet i Sørøst-Norge
- SensoNor ASA
Presentert på
WaferBond'13
Sted
Stockholm
Dato
05.12.2013 - 06.12.2013
Arrangør
Roy Knechtel, Frank Niklaus