FP7 piezoVolume – High volume production processes for piezoelectric microsystems
Kategori
Fagartikkel
Oppdragsgiver
- EU / NMP2-SE-2009-229196 FP7 piezoVolume
- EU / NMP2-SE-2009-229196 FP7 PIEZOVOLUME
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Frode Tyholdt
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2013Publisert i
Commercial Micro Manufacturing
ISSN
1757-6105
Årgang
6
Hefte nr.
2
Side(r)
32 - 34