3D interconnect technologies for advanced MEMS/NEMS applications

3D interconnect technologies for advanced MEMS/NEMS applications

Kategori

Vitenskapelig foredrag

Språk

Engelsk

Forfatter(e)

Nicolas Lietaer
Maaike Margrete Visser Taklo
Kari Schjølberg-Henriksen
Peter Ramm

Institusjon(er)

SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Presentert på

216th Meeting of the Electrochemical Society

Sted

Vienna

Dato

04.10.2009 - 09.10.2009

Arrangør

The Electrochemical Society

År

2009

Les fulltekst

http://hdl.handle.net/11250/2429927