Til hovedinnhold

3D interconnect technologies for advanced MEMS/NEMS applications

3D interconnect technologies for advanced MEMS/NEMS applications

Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
  • Nicolas Lietaer
  • Maaike Margrete Visser Taklo
  • Kari Schjølberg-Henriksen
  • Peter Ramm
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Presentert på
216th Meeting of the Electrochemical Society
Sted
Vienna
Dato
04.10.2009 - 09.10.2009
Arrangør
The Electrochemical Society
År