3D interconnect technologies for advanced MEMS/NEMS applications
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Nicolas Lietaer
- Maaike Margrete Visser Taklo
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Peter Ramm
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Presentert på
216th Meeting of the Electrochemical Society
Sted
Vienna
Dato
04.10.2009 - 09.10.2009
Arrangør
The Electrochemical Society