Til hovedinnhold

Protection of MOS capacitors during anodic bonding

Protection of MOS capacitors during anodic bonding

Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
  • Kari Schjølberg-Henriksen
  • Jose Antonio Plaza
  • Joan Marc Rafí
  • Jaume Esteve
  • Francesca Campabadal
  • Joaquín Santander
  • Geir Uri Jensen
  • Anders Hanneborg
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Centro Nacional de Microelectrónica
År
Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering
ISSN
0960-1317
Forlag
Institute of Physics Publishing (IOP)
Årgang
12
Hefte nr.
4
Side(r)
361 - 368