Protection of MOS capacitors during anodic bonding
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Jose Antonio Plaza
- Joan Marc Rafí
- Jaume Esteve
- Francesca Campabadal
- Joaquín Santander
- Geir Uri Jensen
- Anders Hanneborg
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Centro Nacional de Microelectrónica
År
2002Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)
ISSN
0960-1317
Forlag
IOP Publishing
Årgang
12
Hefte nr.
4
Side(r)
361 - 368