Til hovedinnhold

Sodium contamination of SiO2 caused by anodic bonding

Sodium contamination of SiO2 caused by anodic bonding

Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
  • Kari Schjølberg-Henriksen
  • Geir Uri Jensen
  • Anders Hanneborg
  • Henrik Jakobsen
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Universitetet i Sørøst-Norge
År
Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering
ISSN
0960-1317
Forlag
Institute of Physics Publishing (IOP)
Årgang
13
Hefte nr.
6
Side(r)
845 - 852