Sodium contamination of SiO2 caused by anodic bonding
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Geir Uri Jensen
- Anders Hanneborg
- Henrik Jakobsen
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Sørøst-Norge
År
2003Publisert i
Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)
ISSN
0960-1317
Forlag
IOP Publishing
Årgang
13
Hefte nr.
6
Side(r)
845 - 852