Performance and reliability of PZT-based piezoelectric micromirrors operated in realistic environments
Kategori
Poster
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Runar Dahl-Hansen
- Frode Tyholdt
- Thomas Tybell
Institusjon(er)
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Ukjent
Presentert på
2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018) May 27 - June 1, 2018, Hiroshima
Sted
Hiroshima
Dato
27.05.2018 - 01.06.2018
Arrangør
IEEE