Til hovedinnhold

2D PZT based micromirrors with high resonance frequency or high angular deflection

2D PZT based micromirrors with high resonance frequency or high angular deflection

Kategori
Poster
Oppdragsgiver
  • Research Council of Norway (RCN) / 282086
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
Institusjon(er)
  • SINTEF Digital / Microsystems and Nanotechnology
  • Ukjent
Presentert på
Norsk Elektrooptikkonferanse
Sted
Henningsvær
Dato
02.05.2018 - 04.05.2018
År
2018