En stor fordel med mikrooptikk er det kan lages i såkalt batch-prosessering i et rentromslaboratorie, noe som gir parallell produksjon av mange identiske elementer. I tillegg gir det presisjon og repeterbarhet og en lavere pris i volum. På SINTEF MiNaLab bruker vi silisiumsubstrat for å lage mikrobrikker til dette formålet. Disse brikkene inngår som kjernekomponenter i ulike sensorer og aktuatorer.
Vi arbeider innenfor følgende områder
Mikrooptikk er en generell plattformteknologi som brukes innen de fleste områder i industri og samfunn. Noen eksempler er komponenter til
- Spektroskopi av gasser og materialer
- Sirkulær økonomi: Sortering av plastmaterialer
- Termiske infrarøde lyskilder
- Optisk kommunikasjon
- Styring av laserstråler ved hjelp av for eksempel mikrospeil
- Flate linser ved bruk av diffraktiv optikk eller metaflater
- Akselerometere og mikrofoner basert på optisk utlesningsprinsipp
Metodene vi bruker
- Optisk modellering og simulering med eksempelvis Matlab, OptiWave FDTD, GDCalc (Rigorously coupled wave analysis).
- Comsol-modellering av termiske infrarøde lyskilder (IR-kilder)
- Utvikling og prosessering i state-of-the art renrom med bl.a.
- Nanoimprintlitografi
- Prosesslinje for silisiumbasert MEMS og piezo-MEMS (se www.piezoMEMS.com)
- Deponering av tynnfilmer
- Hermetisk pakking av komponenter
- Optisk karakterisering i renrom og optikklag
Hvorfor velge SINTEF
SINTEF MiNaLab har mange tiår med erfaring innen silisiumprosessering. I tillegg har vi unik kompetanse innenfor fagfelt som metaflater, piezoMEMS-aktuatorer og fotonikk. På SINTEF får man jobbe tett med forskerne og har tilgang på state-of-the art laboratorier for forskning, utvikling og produksjon. Vi har folk som er sterke på teori, men også kan utvikle produksjonsprosesser og bygge testoppsett og demonstratorer i optikklab.