CMUT ARRAYS WITH POLYSILICON BOTTOM ELECTRODES AND NANO-METER PRECISION CAVITY GAPS
Kategori
Poster
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Jon Due-Hansen
- Kjersti Midtbø
- Erik Poppe
- Anand Summanwar
- Geir Uri Jensen
- Lars Breivik
- Dag Thorstein Wang
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Presentert på
MicroMechanics Europe
Sted
Tønsberg
Dato
19.06.2011 - 22.06.2011