Assessment of feature engineering and long short-term memory for structure loss identification from process data in monocrystalline silicon growth by the Czochralski method

Oppdragsgiver

• Research Council of Norway (RCN) / 257639

Forfatter(e)

• Øyvind Sunde Sortland
• Mohammed Mhamdi
• Moez Jomâa

Institusjon(er)

• Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
• SINTEF Industri / Metallproduksjon og prosessering

Les fulltekst