Monitoring selective etching of self-assembled nanostructured a-Si:Al films

Oppdragsgiver

• Research Council of Norway (RCN) / 245963
• Research Council of Norway (RCN) / 197405
• Research Council of Norway (RCN) / 231658
• Research Council of Norway (RCN) / NORTEM 197405

Forfatter(e)

• Torunn Kjeldstad
• Annett Thøgersen
• Marit Synnøve Sæverud Stange
• Alexander Azarov
• Eduard Monakhov
• Augustinas Galeckas

Institusjon(er)

• Universitetet i Oslo
• SINTEF Industri / Bærekraftig energiteknologi

Hefte nr.

13

DOI

Les fulltekst