FP7 piezoVolume - High Volume Piezoelectric Thin Film Production Process For Microsystems
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Frode Tyholdt
- Camilla Haavik
- Andrea Mazzalai
- Stephan Tiedke
- Roland Kessels
- Martin Kratzer
- Dirk Kaden
- Gerold Schröpfer
- Aurelie Cruau
- Pirmin Muffler
- Rainer Herrmann
- Paul Muralt
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- SINTEF Industri / Bærekraftig energiteknologi
- Ukjent
Presentert på
piezoMEMS 2011
Sted
Lausanne
Dato
06.09.2011 - 07.09.2011
Arrangør
EPFL