High Volume Piezoelectric Thin Film Production Process for Microsystems
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Frode Tyholdt
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
Commercialization of Micro-, Nano-, and Emerging Technologies (COMS) 2012
Sted
Tønsberg, Norway
Dato
24.07.2012 - 27.07.2012
Arrangør
MANCEF