Highly sensitive MEMS microphone with optical readout
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Ib-Rune Johansen
- Thor Bakke
- Dag Thorstein Wang
- Aina Kristin Herbjørnrød
- Geir Uri Jensen
- Anand Summanwar
- Ole-Herman Bjor
- Peter Kaspersen
- Dung Do Dang
- Peter Geiser
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Ukjent
Presentert på
Norwegian electro - optics meeting 2014
Sted
Fevik
Dato
23.04.2014 - 25.04.2014
Arrangør
Sintef, FFI and UniK on behalf of the Norwegian physical soc