Monitoring selective etching of self-assembled nanostructured a-Si:Al films
Les publikasjonen
Kategori
Vitenskapelig artikkel
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 245963
- Research Council of Norway (RCN) / 197405
- Research Council of Norway (RCN) / 231658
- Research Council of Norway (RCN) / NORTEM 197405
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Torunn Kjeldstad
- Annett Thøgersen
- Marit Synnøve Sæverud Stange
- Alexander Azarov
- Eduard Monakhov
- Augustinas Galeckas
Institusjon(er)
- Universitetet i Oslo
- SINTEF Industri / Bærekraftig energiteknologi
År
2019Publisert i
Nanotechnology
ISSN
0957-4484
Forlag
IOP Publishing
Årgang
30
Hefte nr.
13
Side(r)
1 - 5