Applications of PZT-based micromirrors
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Thor Bakke
- Paul Wittendorp
- Zeljko Skokic
- Frode Tyholdt
- Andreas Vogl
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Ukjent
Presentert på
piezoMEMS workshop 2016
Sted
Grenoble
Dato
24.05.2016 - 25.05.2016
Arrangør
CEA LETI