Dry-film resist technology for versatile TSV fabrication for MEMS, tested on blind dummy TSVs
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Nicolas Lietaer
- Anand Summanwar
- Sara Rund Herum
- Leny Nazareno
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
DTIP
Sted
Cannes
Dato
01.04.2014 - 04.04.2014
Arrangør
CMP