Conductive hydrophilic and hydrophobic high-temperature silicon direct wafer bonding
Kategori
Vitenskapelig foredrag
Oppdragsgiver
- Research Council of Norway (RCN) / 210601
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Kari Schjølberg-Henriksen
- Lars Geir Whist Tvedt
- Stein Are Gjelstad
- Christopher Mørk
- Sigurd Moe
- Kristin Imenes
- Erik Poppe
- Dag Thorstein Wang
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
- Universitetet i Sørøst-Norge
Presentert på
WaferBond'13
Sted
Stockholm
Dato
05.12.2013 - 06.12.2013
Arrangør
Roy Knechtel, Frank Niklaus