Microelectromechanical Systems
Kategori
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Maaike Margrete Visser Taklo
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
År
2012Forlag
Wiley-VCH
Bok
Handbook of wafer bonding
ISBN
978-3-527-32646-4
Side(r)
281 - 300