Piezoelectric micromirror with integrated piezoresistive position sensors
Kategori
Poster
Språk
Engelsk
Forfatter(e)
- Thor Bakke
- Ib-Rune Johansen
Institusjon(er)
- SINTEF Digital / Smart Sensors and Microsystems
Presentert på
IEEE Optical MEMS and Nanophotonics
Sted
Banff
Dato
06.08.2012 - 09.08.2012
Arrangør
IEEE